一、 工艺概述

BK-VSD-1800 型真空镀膜设备,是一款根据客户需求设计的单体连续磁控溅射镀膜设备。主要适应 PET、PC、玻璃等 基材制备 SiO2、NbOx、Si3N4、 Cr 、In、AL等膜层的镀膜设备。该设备结合机械、电气、控制、真空、加热、传动、离子清洗、蒸发、磁控溅射、材料、化工等技术发展出来的高科技设备，适应于现代工业镀膜产业的要求，设备制备的膜层附着力强，膜层致密、均匀性好、成膜稳定、效率高、智能化、故障率低、易维护等特点。

设备主要由真空腔体、工件传动机构、低真空泵组、高真空泵组、离子源、磁控溅射系统、仪器仪表及自动化控制系统组成。

二、 技术指标

项目	技术指标
有效镀膜尺寸	Φ1800×1300mm(以实际设计为准)
工件转速	公转1~100r/min无极可调；
极限真空	5×10-4Pa（空载洁净）
抽气速率	大气到 5×10-3Pa≤25min（所有腔体破真空后重新关门抽气开始计算时间，空载洁净。）
检漏漏率	≤5x10-10Pa·m3/sec
加热温度	基板温度≤150℃
靶材长度	1700mm
有效溅射长度	约1300 mm

                   

三、 设备结构

1.腔体结构

1.1真空腔体

a) 材质：真空腔体采用SUS304不锈钢材质

b) 腔室分为2个腔室；

c) 进片抽气室——工艺腔室；

d) 真空室底部有私服工装驱动。

e) 顶部有粗抽阀门。

f) 防污格栅和内壁是卡扣结构方便拆卸。（并备一套备用）

g) 靶位设置检修门，便于保养和维修；

h) 靶位周围配有观察窗，便于观察腔内工作状况；

i) 腔体外表面喷塑，内表面抛光处理。

1.2镀膜

a) 四对靶使用2个20KW中频控制；

b) 离子源系统一套；

c) 蒸发系统两套。

d) 完成离子清洗，NbOx、SiO2、Si3N4的溅射镀膜。

e) CCR离子源 LS1300 一套

1.3真空室防尘板

a) 采用SUS304不锈钢材质，厚度1.2mm，表面喷砂处理，此厚板不容易变形，且重量适中。

b) 全封闭式挡尘板，有效防护真空室内壁污染。

c) 挡尘板采用弹簧插针式固定，方便快捷。

2.低真空排气系统

2.1机械泵                      1台

a) 厂家及型号： SV630B莱宝

b) 排气速度：630 M³/h

c) 冷却方式：水冷

2.2罗茨泵                      1台

a) 厂家及型号：WH7000莱宝

b) 排气速度：7000M³/h

c) 控制方式：变频器调速控制真空度

2.2机械泵                      1台

a) 厂家及型号： SV300B莱宝

b) 排气速度：300 M³/h

2.2罗茨泵                      1台

a) 厂家及型号：WAU501

b) 排气速度：500M³/h

2.3粗抽阀

a) 厂家及型号：HANA  LV-08      1台

b) 材质：SUS304不锈钢

c) 运行方式：气动

d) 表面处理方式：喷砂

2.4粗抽管道                     1套

a) 规格：DN200

b) 管道材质：SUS304不锈钢

c) 接口法兰材质：SUS304不锈钢

3. 高真空排气系统

3.1分子泵                       6台

a) 型号：TMP-V3304LM岛津 

b) 排气速度：3200 L/S

3.2扩散泵                       1台

c) 型号：DP-28

d) 排气速度：26000 L/S

3.3翻板阀                            1台

a) 型号：1500D

b) 材质：SUS304不锈钢

c) 运行方式：气动

d) 表面处理方式：喷砂

4.超低温系统

4.1超级冷冻机                      1台

a) 厂家及型号：天寒 TH-135-32Ax

b) 极限温度：-135℃

c) 功率：12Kw

5.工艺气体进入系统

5.1  MFC   Ar                  15套

a) 厂家：国产

b) 规格：Ar 1000Sccm

5.2  MFC   AR                  6套

a) 厂家：国产

b) 规格：AR 200Sccm

5.3  MFC   O₂                    6套

a) 厂家：国产

b) 规格： O₂ 500Sccm

6.电气系统

6.1 溅射电源                         2套

a) 厂家：国产

b) 型号：20KW（MF）

c) 参数： 20KW,  

6.2 射频电源                         1套

a) 厂家：霍廷格 

b) 型号：RF3006

c) 参数： 6KW,  

6.3工装驱动马达                      4台

a) 厂家： 松下 

6.4  CCR离子源                         1套

d) 厂家：德国 

e) 型号：LS1300

f) 参数： 6KW,  

7.真空监测系统

7.1低真空测量规                  6组

a) 厂家：英富康

b) 规格：PSG500

c) 测量范围：5.0x10² - 1.0X10^-3Torr 

7.2半量程测量规                  2组

a) 厂家：英富康

b) 规格：IKR251

c) 测量范围：.1.0x10^-3 - 3.8X10^-9Torr

8离子源

a） 离子源结构：线性离子源       1套

b） 工艺电源：国产离子源电源   1台

9旋转阴极

  a）SiO2 磁控溅射                 2对

  b）NbOx/Si3N4 磁控溅射          2对

1、每对旋转阴极单独一组流量计和布气管道进行供气；

2、每对旋转阴极单独一台电源控制

3、靶水循环、吹水控制系统，配有水流、水温传感器，冷却水异常时报警及保护；

10 AF蒸发

自动添料AF蒸发（4-6组蒸发点）

11 工件移栽系统

 

12控制系统

控制模式：自动模式、手动模式、维修模式；

自动模式：自动抽气、执行工艺、停机保压、放气开腔； 提供工艺配方设置与存储；

具有水压、水流、气压不足、阀门未到位、设备过载、误操作、停电等保护及互锁功能；

真空计、流量计、变频器、离子源、溅射电源等通过人机界面来集成控制，提高设备自动化程度，减少设备带来的干扰及降低人为失误造成的损失；

报警信息、实时趋势及时反馈和记录；  历史参数能够导出，方便分析和归档；  用户和权限管理保障运行的可靠和安全。

控制单元：三菱PLC

l 人机界面：彩色液晶触摸屏

l 可视化界面

l 参数直观显示

l 在线显示机器状态和过程值

l 显示历史数据，趋势图

l 菜单操作：

整套工艺参数和适当的限制值可以储存在系统中，在需要是可以输入编号调出。避免各个参数变化。

l 生产和质量监控：

记录所以相关的生产和工艺参数。

存储在设备中的数据存储通过串行接口传输到其他电脑用于长期储存和评估。

l 维护和诊断功能：

预防性维护哟运行时泵的监控及下列活动支持：

² 报警和错误报告系统

² 通过网络通讯进行远程系统诊断